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                伯東企業(上海)有限公司

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                Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 用于陶瓷板 Pt、Au、Cr 薄膜刻蝕

                             來源:伯東企業(上海)有限公司 閱讀:3814 更新時間:2021-01-19 15:51

                深圳某電子公司采用Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 對陶瓷板的 Pt、Au、Cr 薄膜刻蝕高端印制電路板生產為主

                 

                Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 技術參數

                 

                Φ4 inch X 12

                基片尺寸

                Φ4 inch X 12

                Φ5 inch X 10

                Φ6 inch X 8

                均勻性

                ±5%

                硅片刻蝕率

                20 nm/min

                樣品臺

                直接冷卻,水冷

                離子源

                Φ20cm 考夫曼離子源

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                Hakuto 離子刻蝕機 20IBE-J 的核心構件離子源采用的是伯東公司代理美國 考夫曼博士創立的 KRI考夫曼公司的射頻離子源 RFICP220

                伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術參數:

                離子源型號

                RFICP 220

                Discharge

                RFICP 射頻

                離子束流

                >800 mA

                離子動能

                100-1200 V

                柵極直徑

                20 cm Φ

                離子束

                聚焦平行散射

                流量

                10-40 sccm

                通氣

                Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

                典型壓力

                < 0.5m Torr

                中和器

                LFN 2000

                 

                推薦  Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J  理由:

                1. 客戶要求規?;a,  Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 適合大規模量產使用

                2. 刻蝕均勻性 ±5%, 滿足客戶要求

                3. 工作臺冷卻方式直接水冷

                4. 樣品裝載數: 18/批(2″)或4/批(4″)

                 

                若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯絡方式 :

                上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
                T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
                F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
                M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
                ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
                www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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